증착

소재
부품
장비
CVD
회로 형성에 필요한 보호막, 절연막과 평탄화 층을 화학적 방식으로 증착시키는 장비
생산업체: 주성엔지니어링, AMAT, 알박
통계
스퍼터(Sputter)
TFT Array의 전극 형성 시 물리적 방식으로 박막 형성 장비
생산업체: 에이치앤이루자, 아바코, 알박
통계
레이저결정화장비(ELA)
레이저 열처리를 통해 비정질실리콘(a-Si)을 저온폴리실리콘(Low Temperature Polycrystalline Silicon, LTPS)으로 바꿔주는 장비
생산업체: AP시스템, LG PRI, JSW
이온주입기(Ion Implant)
저온폴리실리콘에 중 전류를 인가하고 이온(불순물)을 주입하여, 저온폴리실리콘을 저항이 낮은 도전성 물질로 바꾸어 주는 역할을 위해 사용되는 장비
생산업체: Nissin Ion
통계
Insulator 형성장비
도체 사이에서 전류를 흐르지 않게 보호하는 막으로 PECVD를 이용하여 박막을 형성함
생산업체: 주성엔지니어링, 원익IPS, ULVAC, AMAT
통계
Passivation 형성장비
TFT(Thin FIlm Transiter)를 수분 등의 외부 손상으로부터 보 호하는 박막으로 PECVD를 이용하여 형성함
생산업체: 주성엔지니어링, ULVAC, AMAT
통계
열처리장비
열을 이용하여 글라스내 박막의 물질을 균질하게 하거나(평탄화), 수소와 같은 분위기 가스를 주입 또는 탈가스화 또는 온도를 이용하여 물질의 상을 변화시키는 장비
생산업체: 비아트론, 원익IPS, 예스티, 오성엘이스티, TEL
통계

(단위: 천달러, 전년동기대비%)

136,726,555 69.51 176,726,555 01.58 136,726,555 69.51 176,726,555 77.38
2021년 2022년 (6월 누계)
수출금액 수출증감률 수입금액 수입증감률 수출금액 수출증감률 수입금액 수입증감률

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